De externe filterstofafscheider is uitgerust met een cilindrische steunzakkooi in elke filterzak, en het gashoudende stof stroomt van buiten naar de binnenkant van de filterzak. Het stof wordt dus gefilterd en opgevangen door de buitenkant van de filterzak, en het schone gas wordt via de binnenkant uit het bovenste gedeelte afgevoerd. De cleanroom is voorzien van persluchtleidingen, die gebruik maken van de pulsluchtstroom die door de persluchtleidingen wordt uitgespoten om stof af te schudden. De schaal, trechter en andere trillende structuren zijn hetzelfde en bevinden zich in een gesloten toestand. Het stoffige gas dat vanuit het bovenste deel van de trechter wordt binnengestuurd, wordt verdeeld en stijgt naar elke filterzak, waar het wordt gefilterd en opgevangen. De filterprestaties van een interne filterstofafscheider zijn vergelijkbaar met die van een externe filterstofafscheider.
De nieuwe filterzak vangt tijdens de eerste werking voornamelijk stof op dat groter is dan 1 μm, en het opvangmechanisme omvat traagheid, afscherming, afscherming, elektrostatische bezinking en bezinking door zwaartekracht. De primaire hechtlaag van stof die op het oppervlak van het filterdoek wordt gevormd, kan ook deeltjes van minder dan 1 μm opvangen en de diffusie regelen. Deze krachten worden beïnvloed door de grootte, dichtheid, vezeldiameter en filtratiesnelheid van stofdeeltjes.
Het zakkenfilter verwerkt lucht met een stofconcentratie van 0,5-100g/m3. Daarom wordt er binnen enkele minuten na het begin van de beweging een laag stofaanhechting gevormd op het oppervlak en de binnenkant van het filterdoek. Deze lijmlaag wordt ook wel primaire lijmlaag of filtermembraan genoemd.
Als er een lijmlaag wordt gevormd, speelt deze een filterende en opvangende rol. De reden is dat er in de stoflaag veel microporiën worden gevormd, met een porositeit van 0,8~0,9, die een zeefeffect veroorzaken. Hoe lager de filtratiesnelheid, hoe kleiner de microporiën en hoe hoger de porositeit van de stoflaag. Het efficiënte opvangproces hangt dus grotendeels af van de filtratiesnelheid.
